Diyarbakır'ın güneybatı çeyreğinde Süleyman Nazif Mahallesi'ndedir. Hemen güneyinde konağı bulunur. Tek büyük kubbeli, kare planlı, kuzeyinde, iki sıralı, yanlara da taşan beş kubbeli son cemaat yeri vardır (Çizim . Ahşap tavanlı, avluya akıntılı, kurşun kaplı 2 revak, önde sekiz beyaz, tek parçalı kolona oturur. Yanlarını L planlı ayaklar destekler. Eksene gelen iki kolon, siyah-beyaz almaşık yığma olup şadırvanında da yinelenir. Avlu yüzü almaşık örgüyle bütünleşir ve derinliğine aksı güçlendirir. İç (ilk) revak 6 kubbelidir. Eksendeki yükseltilen ve öze­nil en kubbesiyle girişi vurgular (Fotoğraf 7). Kare planlı harimin doğu ve batı yönlerde üçer tonozlu girintileri (eyvan) ve eksenlerinde de birer pen­ceresi vardır. Güney ve kuzeyde mihrap ve giriş ne­deniyle bu ufak eyvanlar, ikiye düşer. Girişin yanındaki gömme iç merdivenlerden üstteki gömme mahfıllere ulaşılmaktadır. Harimin dört köşesinde ufak hücreleri vardır. Her yan eyvanın birer mihrabı (ayrı ayrı düzende mukarnas örgülüdürler) yer alır. Bun­lardan başka, son cemaat yerinde iki mihrap daha vardır. Böylece sayıları dokuzu bulur. Giriş mihrabiyeleri bunun dışındadır. Pencerelerinin yedi düşey,11 yatay demir parmaklıkları ile dövme lokmaları oldukça özenlidir. 

Kare plan üstte mukarnaslı bingilere oturan tramplarla sekizgene dönüşür. Dışı onaltıgen ve be­yaz kasnağı kurşun kaplı büyük kubbe izler. 4,95 m eninde, 6,69 m yüksekliğindeki taçkapı bir sanat eseridir. Mihrap (3,78 x 5,65) oldukça özenli olup taşmimberin bundan geri kalır yönü yoktur. Harimde duvar etekleri, eyvanlar da dahil mavi renkli, karan­fil desenli, büyük boyutlu kare çinilerle kaplıdır. Türk mavisi suları vardır. Harimin kuzey duvarı eyvanla­rının taştan düz tavan örgüleri bir teknik gösteridir.

 Behram Paşa Camii adı, sadece Tuhfetü'l-Mimarin­'de gecer. Hamam adı hiç yoktur. Bu onun, daha son­ra, ancak Evliya Çelebi'nin A.mid'e gelmesinden önce yapıldığı anlamına gelir. Behram Paşa Cami­i planını, Mimar Koca Sinan daha önce, İstanbul'da iki yapıda denedi. Ortak yönleri, her yönde üçer eyvanın olmasıydı. Ancak güneydekini mihrap, kuzey­dekini taçkapı dolduruyordu. İlk örnek Yenibahçe'deki Bali Paşa Camii'dir. Son yayınlar (özellikle vakfıyesi) yapının tarihini 1504-5 yerine yüzyılın ilk yarı­sının sonlarına kaydırmıştır. Bali Paşa 1548'de öldü­ğüne göre yapının en geç bu tarihte yapıldığı görüşü ağır basıyor. Vakfıyesi 1563'lere aittir. Zaten 1504-5 tarihi Sinan için hiç uygun düşmemektedir. Üstad, aynı planı ikinci kez Silivrikapı Hadım İbrahim Paşa Camii'nde 1551 yılında uyguladı. Topografyasının getirdiği değişiklikler dışında bu iki plan hemen hemen birbirinin eşidir. Boyutları da birbirine çok yakındır. Sıra Diyarbakır'a gelince, Sinan bir adım daha ileri atar. Güney duvarı iki ucuna birer çilehane tas arlar. Zaten duvar kalınlığı bunu zorunlu kılmıştır. Mahfil merdivenleri, kuzey duvarı girişi 2 yanına ve yan duvarların güney uçlarındadır. Minare, harimden ve son cemaat yerinden daha batı açığa alınır. Üçüncü boyut, kitleyle dengesi açısından bunu zorunlu kılmış gibidir. Sinan, son cemaat yerini iki kademeli olarak pek çok yapısında kullandı (22 yapı). Ancak Behram Paşa Camii'ndeki Sinan'dan sonraki eklenti­dir ve aksIarın sayısı zaten bunu kanıtlamaktadır.

 Behram Paşa, şimdikilerin tersine Amid'de görevde bulunmadı. Ancak fıziksel ve yönetim açısından güçlü bir bağı olmalıydı. Ailece Yemen Beylerbeyliğinde bulunmaları ve Diyarbakır'ın yol üstünde olması ötesinde Anadolu Beylerbeyliği de yaptı. Özellikle Kanuni günlerinin "Doğu Sorunları" bu görevin Diyarbakır'da olmasını gerektiriyordu. Askeri üs Van' da, yönetim Amid'de yoğunlaştı. Evliya Çelebi'nin, Behram Paşa Hamamı için Gazze'den getirilen ustalara dikkatimizi çekmesi de önemlidir. Mimar Si­nan'ın cami için niçin bu planı seçtiğinin ayrıntıları­nı Diyarbakır CamiIeri kitabımızda (s. 155) belirtiyoruz. Sinan, yoğun iş programı nedeniyle buraya iyi bir kalfasını, çok iyi bir mukarnasçısını ve neccarını katarak göndermiş olmalı. Çinileri ve Marmara Böl­gesi'nde hazırlanmışa benziyor. Ekibin, öbür yapılarda olduğu gibi yerel bazı ayrıntı ve süs birimlerinin dışında kalamadı. Tüm bunlara karşın Diyarbakır, Behram Paşa Yapı Topluluğu ve özellikle camisi, ken­tin ve yörenin en önde gelenidir. Mukarnaslarında çok üstün bir plastiklik vardır. Şadırvanıyla bütünle­şerek derinliğine aks çok güçlüdür. Taçkapıdaki mukarnasın, harimde hemen arkasında kullanılması da ayrı bir özen ve ayrıcalığıdır. Eyvanın düz taş tava­nı, demir parmaklık lokmaları tam Sinan'a yaraşır niteliktedir. Zaten camiin yapıldığı 1572 tarihi de Si­nan'ın doruktaki konumuyla özdeşleşmektedir